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真空气氛炉(箱式气氛炉)

真空气氛炉(箱式气氛炉)

TC-12AN/14AS/17AM

箱式气氛炉通过预抽真空,确保炉膛内氧含量降到最低,然后通入氮气、氩气等惰性气体,从而在气氛保护下获得理想的热处理环境。

最高温度:1200/1400/1700℃极限真空:-0.1MPA最大抽真空度:-0.08MPA
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产品介绍

箱式气氛炉通过预抽真空,确保炉膛内氧含量降到最低,然后通入氮气、氩气等惰性气体,从而在气氛保护下获得理想的热处理环境。
因其卓越的气氛环境以及紧凑实用性,目前已广泛的应用于材料实验室或者半导体、氮化硅等产品的小批量生产。
 
真空气氛炉(箱式气氛炉)
真空气氛炉(箱式气氛炉):控制面板

 

产品特点

  • RT~1700°C。
  • 炉膛采用氧化铝多晶纤维,温场均恒无污染。
  • 全密闭结构炉膛,壳体双层加厚钢板,极限真空可达-0.1MPA。
  • 顶部,左侧,右侧,背部均采用12MM的实心方钢做加强筋,
  • 抽真空不变形。最大抽真空度可到-0.08MPA。
  • 控温系统采用工业精度0.2级智能仪表,PID调节,50段编程。
  • 炉门密封性能好,四个手轮紧锁炉门,硅胶圈密封。

技术参数

标准规格:1200型

型号 最高温度(°C) 工作温度(°C) 炉膛尺寸(宽*高*深) mm 电压(V) 功率(kW)
TC-12AN-2 1200 1100 120*120*130 220 1.2
TC-12AN-3 1200 1100 150*150*150 220 2.5
TC-12AN-5 1200 1100 150*150*200 220 3
TC-12AN-8 1200 1100 200*200*200 220 5
TC-12AN-12 1200 1100 200*200*300 220 6
TC-12AN-27 1200 1100 300*300*300 380 8
TC-12AN-36 1200 1100 300*300*400 380 10
TC-12AN-64 1200 1100 400*400*400 380 16
 
标准规格:1400型
 
型号 最高温度(°C) 工作温度(°C) 炉膛尺寸(宽*高*深) mm 电压(V) 功率(kW)
TC-14AS-1 1400 1300 100*100*100 220 1
TC-14AS-2 1400 1300 120*120*130 220 2
TC-14AS-3 1400 1300 150*150*150 220 3
TC-14AS-5 1400 1300 150*150*200 220 4
TC-14AS-8 1400 1300 200*200*200 220 5
TC-14AS-12 1400 1300 200*200*300 220 7
TC-14AS-27 1400 1300 300*300*300 380 9
TC-14AS-36 1400 1300 300*300*400 380 11
TC-14AS-64 1400 1300 400*400*400 380 18

标准规格:1700型

型号 最高温度(°C) 工作温度(°C) 炉膛尺寸(宽*高*深) mm 电压(V) 功率(kW)
TC-17AM-1 1700 1600 100*100*100 220 1
TC-17AM-2 1700 1600 120*120*130 220 3
TC-17AM-3 1700 1600 150*150*150 220 4
TC-17AM-5 1700 1600 150*150*200 220 5
TC-17AM-8 1700 1600 200*200*200 220 7
TC-17AM-12 1700 1600 200*200*300 220 8
TC-17AM-27 1700 1600 300*300*300 380 10
TC-17AM-36 1700 1600 300*300*400 380 12
TC-17AM-64 1700 1600 400*400*400 380 20

相关配件

标准配件:
炉门档火砖(1200型除外)
高温手套
坩埚钳
说明书
热元件两支(1200型除外)
旋片真空泵


可选配件:
直连式真空泵
触摸屏/电脑连接软件
炉膛坩埚(多层窑具)
加热元件(硅钼棒、硅碳棒)
气路系统(浮子/质子流量计,2路/3路气体)

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