作为国内顶尖高等学府,清华大学在半导体新材料领域的研究始终走在前沿。为攻克新型半导体材料制备过程中的精细化研磨核心技术难题,该校经过多轮设备调研与性能比对,最终选择了GQM-4-5罐磨机投入研发工作。
这款设备凭借紧凑的外形设计(950×660×690 mm),完美适配实验室有限的空间布局,仅70 kg的重量也便于设备的移动与调试。其搭载的YE2-80M2-4B3型电机,以0.75 kW的功率实现了50~410±10 rpm的宽范围主辊转速调节,能够精准匹配不同半导体材料的研磨需求,为新材料的成分均匀性与微观结构优化提供了稳定的设备支撑。同时,220 V/50 Hz的常规电源适配性,让设备无需额外改造即可融入实验室现有供电系统,大幅降低了研发落地成本。
在GQM-4-5罐磨机的助力下,清华大学研发团队成功突破了多项半导体材料制备关键技术,为我国半导体产业的自主创新奠定了坚实基础。
